• Lencse és méréstartomány: széles látómező: 500x400 mm
kis látómező: 430x350 mm
• Pontosság: toldás nélkül: széles látómező: ±3µm, (⌀73x49 mm fókuszált mezőben és 20°C ±1°C környezetben)
kis látómező: ±1µm, (⌀16x12 mm fókuszált mezőben és 20°C ±1°C környezetben)
toldással: széles látómező: ±(5+0.02L)µm, (⌀450x360 mm fókuszált mezőben és 20°C ±1°C környezetben, L= tárgyasztal elmozdulása)
kis látómező: ±(3+0.02L)µm, (⌀387x315 mm fókuszált mezőben és 20°C ±1°C környezetben, L= tárgyasztal elmozdulása)
• Ismételhetőség: toldás nélkül: széles látómező: ±1µm
kis látómező: ±0.5µm
toldással: széles látómező: ±2µm
kis látómező: ±1.5µm
• Mező mélység: széles látómező: 4 mm
kis látómező: 0.7 mm
• Pixel mérete: széles látómező: 16.9µm
kis látómező: 5µm
• Megvilágítás: felületi megvilágítás, transzmissziós telecentrikus megvilágítás és koaxiális megvilágítás
• Munkadarab maximális tömege: 25 kg
• Mérési idő: <2S (másodperc)
• Mérési adat: 2D
• Számítógép: I7-6700, 64G memória, 480G SSD
• Áramforrás: 220V, 50/Hz , 1200W
• Környezet igény: hőmérséklet: 20°C ±2°C, relatív páratartalom: 30%~80%, rezgés: <0.002g és <15Hz
• Méret: 1060x824x1818 mm
• Tömeg: 800 kg
• Sztenderd szállítmány: főegység, számítógép és szoftver